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（名古屋）大同特殊鋼は、半導体製造装置などに使用する高耐食材料として「DSAD22」を新たに開発した。

　DSAD22は高耐食材として広く採用されるDSALOY22と同等の耐ガス腐食性を有しながら、省合金化を図り、被削性を大幅に向上したニッケル基耐食合金だ。半導体製造装置・部品メーカー各社が直面する「高耐食材料の採用拡大」と「部品コストの低減」を両立し、顧客の課題解決に貢献する。

　同合金はエッチング装置や成膜装置などのガス供給ライン、バルブボディ、フィルターハウジング、継手やマスフローコントローラーなどの接ガス金属部品といった、腐食性のガスを使用する各種前工程装置全般への運用を見込んでいる。

　同社は今後も素材の可能性を追求し、人と社会の未来を支え続けるという使命のもと、半導体産業に貢献する方針だ。